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Title:
Oberflachentechnologie mit Niederdruckplasmen: Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik (German Edition)
Author:
Gerhard Franz
Description:
Product Description In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunter...
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